- 您好，
- 歡迎訪問(wèn)無(wú)人機(jī)網(wǎng)（www.hldxsj.cn)!
-
- 消息0
- 請(qǐng)登錄
- 免費(fèi)注冊(cè)
-
微信號(hào):youuav
關(guān)注官方微信
m.youuav.com手機(jī)掃碼看新聞
-
- 求購(gòu)
- 發(fā)布求購(gòu)
- 管理求購(gòu)
- 添加收藏
- 關(guān)于我們
無(wú)人機(jī)整機(jī)
無(wú)人機(jī)配件
無(wú)人機(jī)服務(wù)
設(shè)備與工具
Part.1
摘要
超快激光具有能量密度高，方向性強(qiáng)，相干性高等特點(diǎn)，飛秒激光微納加工在復(fù)雜的三維微納功能器件的加工領(lǐng)域具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。目前傳統(tǒng)的激光微納加工技術(shù)均為逐點(diǎn)掃描的加工方式，加工效率無(wú)法滿足實(shí)際生產(chǎn)的高效率需求?；诳臻g光調(diào)制器的計(jì)算全息技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)靈活可控的光場(chǎng)分布，飛秒激光可以被精確的調(diào)制成預(yù)設(shè)的多焦點(diǎn)圖案陣列，從而實(shí)現(xiàn)高效的并行加工，可以大大的提高加工效率。同時(shí)利用空間光調(diào)制器可以方便的生成貝塞爾光束，可以實(shí)現(xiàn)微環(huán)形結(jié)構(gòu)的單次曝光式加工。
關(guān)鍵詞
空間光調(diào)制器超快激光微納加工微納加工激光加工
介紹：
空間光調(diào)制器(SLM)可以將信息加載到二維光學(xué)數(shù)據(jù)場(chǎng)中，是一種對(duì)光束進(jìn)行調(diào)整的器件。通過(guò)控制加載到SLM上的灰度圖，SLM可以調(diào)控空間光場(chǎng)的相位、振幅、偏振等，或者實(shí)現(xiàn)光的非相干性到相干性的轉(zhuǎn)變。將SLM同超快激光微納加工技術(shù)結(jié)合起來(lái)，發(fā)揮二者的優(yōu)勢(shì)，可大大提高激光微納加工的效率和靈活性。如：利用SLM生產(chǎn)多焦點(diǎn)的陣列（e.g. 30x30）, 從1個(gè)點(diǎn)變成900個(gè)點(diǎn)，加工效率提高900倍。同時(shí)通過(guò)控制各個(gè)點(diǎn)的位置，可以實(shí)現(xiàn)不同線寬不同焦深的控制。SLM還可以通過(guò)加載計(jì)算全息圖，可實(shí)現(xiàn)圖案結(jié)構(gòu)的一次性曝光加工。
圖1 利用SLM生成多焦點(diǎn)陣列及并行加工圖案
圖2 市面上的空間光調(diào)制器(SLM)產(chǎn)品示例
SLM除了可以調(diào)整激光生成二維多焦點(diǎn)配合移動(dòng)臺(tái)或振鏡進(jìn)行逐層掃描來(lái)實(shí)現(xiàn)三維加工外，SLM還可將飛秒激光調(diào)制成空間特定分布的點(diǎn)陣、線型光場(chǎng)、面型光場(chǎng)、實(shí)現(xiàn)以點(diǎn)、線、面為基本加工單元的高效加工。除二維光場(chǎng)分布外，SLM可以進(jìn)行三維光場(chǎng)調(diào)制。
上海昊量光電設(shè)備有限公司的技術(shù)工程師運(yùn)用美國(guó)Meadowlark Optics 公司的液晶純相位型P1920-400-800-HDMI空間光調(diào)制器產(chǎn)生了2x2, 2x3, 2x4的空間高斯光斑點(diǎn)陣及空間貝塞爾光斑點(diǎn)陣。
實(shí)驗(yàn)光路如下：
實(shí)驗(yàn)結(jié)果如下：
圖3 2x2, 2x3, 2x4的空間高斯光斑點(diǎn)陣結(jié)果
圖4 2x2, 2x3, 2x4的空間貝塞爾光斑點(diǎn)陣結(jié)果
Part.2
超快激光微納加工對(duì)空間光調(diào)制器的要求
1.SLM的損傷閾值
因?yàn)镾LM將入射照明分為多個(gè)焦點(diǎn)。隨著焦點(diǎn)數(shù)量的增加，每個(gè)焦點(diǎn)的功率下降。為了增加焦點(diǎn)的數(shù)量，同時(shí)保持每個(gè)焦點(diǎn)的功率滿足微納加工的要求，SLM的損傷閾值得至關(guān)重要。多個(gè)因素影響SLM的損傷閾值。：1、增加SLM的通光尺寸允許照明分布在更大的區(qū)域；2、SLM的電極涂層可以優(yōu)化以限制吸收，提高反射率；3、主動(dòng)和被動(dòng)冷卻系統(tǒng)可以用于緩解熱效應(yīng)，保證相位調(diào)制量的穩(wěn)定性。
目前市面上的SLM主要品牌像德國(guó)Holoeye，美國(guó)Thorlabs,臺(tái)灣JDC，以及一些國(guó)產(chǎn)的SLM，其損傷閾值均為2W/cm2,無(wú)水冷降溫模塊。
美國(guó)Meadowlark Optics公司的1920x1152（P1920）系列空間光調(diào)制器的損傷閾值可達(dá)200W/cm2，配備水冷模塊，保證液晶的溫度恒定，相位調(diào)制深度恒定。
2. SLM的響應(yīng)時(shí)間（刷新速度）
液晶響應(yīng)時(shí)間取決于多個(gè)因素，包括液晶層的厚度，其被優(yōu)化后在最長(zhǎng)工作波長(zhǎng)處提供一個(gè)相位行程波，驅(qū)動(dòng)器的電壓和液晶材料特性。對(duì)于光遺傳學(xué)，大多數(shù)研究人員將SLM與雙光子、三光子顯微鏡結(jié)合，并且工作在900 nm至1300 nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)。美國(guó)Meadowlark Optics公司是唯一提供高速SLM的供應(yīng)商，HSP1920-1064-HSP8型液晶空間光調(diào)制器在1064 nm，能夠達(dá)到300 Hz的液晶響應(yīng)速度(從0 - 2pi轉(zhuǎn)換)和845Hz的幀頻（灰度圖片同電腦傳輸?shù)絊LM速度）。
在1064 nm處，液晶從10%到90%范圍內(nèi)上升和下降時(shí)間小于3 ms。將焦點(diǎn)通過(guò)觸發(fā)打開(kāi)和觸發(fā)關(guān)閉進(jìn)行檢測(cè)。（左）由軟件定時(shí)驅(qū)動(dòng)的液晶開(kāi)關(guān)。焦點(diǎn)被打開(kāi)和關(guān)閉探測(cè)器（顯示為黃色）。當(dāng)SLM上的圖像發(fā)生變化時(shí)，硬件會(huì)產(chǎn)生一個(gè)輸出脈沖（以紫色顯示），表示新圖像將在1.18 ms內(nèi)開(kāi)始在SLM上加載。（右）由外部硬件觸發(fā)驅(qū)動(dòng)的液晶開(kāi)關(guān)。當(dāng)外部觸發(fā)器的下降沿到達(dá)（以藍(lán)色顯示）時(shí)，硬件將啟動(dòng)SLM上的圖像更新。產(chǎn)生輸出脈沖以確認(rèn)接收到觸發(fā)（以紫色顯示）。在產(chǎn)生輸出脈沖后的1.18面試內(nèi)，圖像將在SLM上更新（以黃色顯示，焦點(diǎn)移入和移出檢測(cè)器）。
目前市面上的SLM主要品牌像德國(guó)Holoeye，日本濱松，美國(guó)Thorlabs,臺(tái)灣JDC，以及一些國(guó)產(chǎn)的SLM，其液晶響應(yīng)時(shí)間在1064nm在80ms(12.5Hz)左右，控制器的幀頻均為60Hz。
3. 相位穩(wěn)定性
為了確保各焦點(diǎn)在超快激光微納加工分配時(shí)的一致性，SLM的時(shí)間特性變得重要。Meadowlark Optics公司的SLM使用兩種策略來(lái)最大化相位穩(wěn)定性。第一種策略是使用直接模擬尋址，而不是模擬使用二進(jìn)制尋址與時(shí)序抖動(dòng)相結(jié)合的模擬調(diào)制。第二種策略是使用能夠以844Hz的速率刷新的定制背板。高速背板刷新對(duì)于減輕像素電容的電壓損失是必要的。如果背板刷新較慢，則像素處的電壓下降使液晶分子松弛，從而改變LC的折射率。如果背板電壓的刷新速度明顯快于LC弛豫時(shí)間，那么SLM將具有較高的相位穩(wěn)定性。
通過(guò)向SLM寫入重復(fù)相位斜坡并測(cè)量一階強(qiáng)度來(lái)量化相穩(wěn)定性。LC分子松弛的不穩(wěn)定性會(huì)導(dǎo)致一階焦點(diǎn)的強(qiáng)度隨時(shí)間而變化。相穩(wěn)定性被定義為峰到一階焦點(diǎn)強(qiáng)度的峰值與平均焦點(diǎn)強(qiáng)度的比值。對(duì)于需要更高相位穩(wěn)定性和高分辨率的研究，標(biāo)準(zhǔn)的1920 x 1152像素SLM可提供低至0.20％的相位紋波。
4. 波前質(zhì)量（波前畸變）
單光子激發(fā)相比，雙光子激發(fā)具有更好的限制，因?yàn)橛蓛蓚€(gè)光子同時(shí)激發(fā)的可能性與光強(qiáng)度的平方成正比。因此，雙光子激發(fā)以焦點(diǎn)距離的四次冪衰減[8]。然而，這種低激發(fā)的可能性使得操作模式對(duì)改變焦點(diǎn)的PSF的像差敏感。為了確保在大體積上的一致激發(fā)，校正顯微鏡中SLM和其余光學(xué)元件的像差是很重要的。
許多用于表征和校正像差的算法都基于Zernike多項(xiàng)式。然而，對(duì)圓形孔徑的依賴不適用于描述正方形或矩形陣列的像差。已經(jīng)開(kāi)發(fā)了基于SLM的干涉子孔徑的替代策略[9]，以確保SLM的有效區(qū)域上的像差可以被校正到λ/ 40或更好。如圖7所示，由于使用了制造工藝，MLO SLM的本身的波前像差很低。
（a）原始的1920 x 1152像素SLM波前（λ/ 7 RMS）
（b）應(yīng)用了像差校正的波前（λ/ 20 RMS）
（c）未應(yīng)用校正的像差曲面圖。
（d）應(yīng)用校正后的像差曲面圖。
5. 計(jì)算全息算法優(yōu)化
美國(guó)Meadowlark Optics公司與美國(guó)霍華德休斯敦學(xué)院的研究人員合作開(kāi)發(fā)了最新的計(jì)算全息優(yōu)化算法，并且嵌入到SLM的控制軟件中，客戶可以正確、靈活的更方便的產(chǎn)生想要的光斑模式。同時(shí)用戶可根據(jù)自己的需求控制每個(gè)焦點(diǎn)的光強(qiáng)。
上海昊量光電設(shè)備有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注 專注成就未來(lái)
上海昊量光電設(shè)備有限公司是目前國(guó)內(nèi)知名光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，也是近年來(lái)發(fā)展迅速的光電代理企業(yè)。除了擁有一批專業(yè)技術(shù)銷售工程師之外，還有擁有一支強(qiáng)大技術(shù)支持隊(duì)伍。我們的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)可以為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開(kāi)發(fā)，軟件開(kāi)發(fā)，系統(tǒng)集成等工作。不但為客戶提供適合的產(chǎn)品，而且為客戶提供完善的服務(wù)是我們始終秉承的理念！
自2008年成立以來(lái)，昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷，致力于引進(jìn)國(guó)外很具先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品，為國(guó)內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造! 目前，昊量光電已經(jīng)與來(lái)自美國(guó)、歐洲、日本的多家知名光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國(guó)防等。
昊量光電堅(jiān)持“專業(yè)源自專注，專注成就未來(lái)”的經(jīng)營(yíng)理念。近年來(lái)，我們專注于前沿的細(xì)分市場(chǎng)，為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。
秉承誠(chéng)信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀，昊量光電堅(jiān)持以誠(chéng)信為基石，憑借高效的運(yùn)營(yíng)機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值，實(shí)現(xiàn)各方共贏！
立足于光電產(chǎn)業(yè)，昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新，贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可，不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆，立志打造國(guó)際一流的代理服務(wù)品牌！
2025-09-16 09:32
2025-09-16 09:31
2025-09-16 09:27
2025-09-16 09:25
2025-09-16 09:24
2025-09-16 09:23
2025-09-16 09:22
2025-09-16 09:21
2025-09-15 10:22
2025-09-12 11:33
