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無人機整機
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設(shè)備與工具PALET無掩膜光刻機是日本Neoark公司生產(chǎn)一款基于DLP空間光調(diào)制技術(shù)的高性價比光刻系統(tǒng)。不同于傳統(tǒng)的光刻機，該系統(tǒng)利用DMD代替?zhèn)鹘y(tǒng)的掩膜，增加靈活性的同時大大降低了時間和成本。
該設(shè)備采用365nm的紫外LED作為光源，可以適用于SU-8、AZ-P1350等眾多的光刻膠，并且LED相對于汞燈和激光擁有更好的光源穩(wěn)定性和均勻性，使用壽命可達10000小時。采用DMD作為數(shù)字掩膜，增加了設(shè)備的靈活性，可以根據(jù)自己的需求靈活設(shè)計和改變掩膜圖形，采用10倍物鏡時，光刻線寬可達到3微米，單次曝光面積可達到1X0.6mm，并在1s內(nèi)完成曝光。若采用2倍物鏡單次曝光面積可達5X3mm，并可以獲得較高的深寬比，使用SU-8光刻膠時可獲得深度超過100μm的陡直結(jié)構(gòu)。
此外該設(shè)備可配備六維電動位移平臺，實現(xiàn)半自動聚焦，自動校正晶圓的位置，并且可實現(xiàn)曝光拼接，曝光面積可到25X25mm，拼接精度為0.5μm?？蓪崿F(xiàn)套刻功能。
設(shè)備軟件界面友好易操作，除了支持CAD文件外，還支持多種不同的圖片格式例如：Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。
主要參數(shù)
應(yīng)用示例
上海昊量光電設(shè)備有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注 專注成就未來
上海昊量光電設(shè)備有限公司是目前國內(nèi)知名光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，也是近年來發(fā)展迅速的光電代理企業(yè)。除了擁有一批專業(yè)技術(shù)銷售工程師之外，還有擁有一支強大技術(shù)支持隊伍。我們的技術(shù)支持團隊可以為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等工作。不但為客戶提供適合的產(chǎn)品，而且為客戶提供完善的服務(wù)是我們始終秉承的理念！
自2008年成立以來，昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷，致力于引進國外很具先進性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品，為國內(nèi)前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，助力中國智造與中國創(chuàng)造! 目前，昊量光電已經(jīng)與來自美國、歐洲、日本的多家知名光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國防等。
昊量光電堅持“專業(yè)源自專注，專注成就未來”的經(jīng)營理念。近年來，我們專注于前沿的細分市場，為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。
秉承誠信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價值觀，昊量光電堅持以誠信為基石，憑借高效的運營機制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價值，實現(xiàn)各方共贏！
立足于光電產(chǎn)業(yè)，昊量光電始終堅持價值創(chuàng)造與創(chuàng)新，贏得客戶與合作伙伴的認可，不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆，立志打造國際一流的代理服務(wù)品牌！
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